深圳雙十精密x-Y工作臺
    x-Y工作臺是實現平面xOY坐標運動的典型關鍵部件。近年來，隨著工業機器人、數字控
制，精密機械的迅速發展，對X-Y工作臺的需求愛不斷增加，對工作臺部件的精度和運行速度
也提出了愈來愈高的要求。在梢密機械儀器中。它是影響整臺儀器的精度和效率的重要部件。
一、x-Y工作臺的性能要求、型式及組成
    (一)x-Y工作臺的性能要求:
    由于工作臺使用的情況不同，因而對性能的要求也各異一般的靜態和動態性能要求包括
有如下一些內容。
    在靜態性能方面:
    I.工作臺的幾何精度它包括x-Y工作臺的導軌在水平面內的直線性、垂直平面內的直
線性>x方向與Y方向的垂直度，X-Y方向的反向間隙和反向精度以及工作臺面與運動平面間
的不平行性。
    2.系統的靜剛度工作臺傳動系統受重力、摩擦力或其他外力的作用而產生相應的變
形，其比值稱為靜剛度。
    3.工作臺的定位精度和重復定位精度。
    在動態性能方面:
    1.工作臺系統的振動特性和固有頻率，
    Z.速度與加速度特性。
    3，負載特性;
    月.系統穩定性等。
    (二)X-Y工作臺的型式工作臺有多種型式.按驅動方式來劃分大體有
兩種:一種是驅動電機與X向(或Y向)
工作臺聯成一體，如圖3-16a所示。這種型式的結構比較簡單，但卻造成底層的
驅動重量增大，電機的振動也會影響工作臺的精度;另一種是電機不與工作臺
聯成一體，而是裝在機座上，如圖3-16b,。所示。這種型式的機械結構較復雜，但
卻減輕了下層電機的驅動重量，適用于高速運動。
    圖3-17所示的型式是將電機全都
放在機座上。電機通過一套較長的傳動鏈驅動工作臺移動。這樣做的結果，雖然
減輕了下層工作臺承受的重量和電機振動的影響，但卻影響了傳動系統的剛度和運動速度的提高。
    X-F工作臺中的兩個工作臺迭合的型式也很多。在特殊的情況下.也有兩個工作臺同處于一個平面的型式，如圖3-17所示。因為在某些電子顯微鏡等設備中，操作必須在前面進行，所以常需要采用與圖3-17相似的結構。這種型式也適用于較重的工作臺在小行程范圍內移
動?；蛟诠ぷ髋_的高度受到限制的情況下使用。
    (三)x-Y工作臺的組成
    x-Y工作臺系統基本上是由工作臺滑板、直線移動導軌、傳動機構、驅動電機、控制裝置和位移檢測器等組成。
圖3-18所示是工作臺系統的組成部分。
在設計x-Y工作臺時，應該把機械部分與控制部分
視為一體進行考慮，以便能夠從總體上設計出較為經濟地滿足使用要求的工作臺。其中傳動系
統的設計尤為重要.因為它對整個X-F工作臺及儀器設備的性能影響最大。所以下面將著重
分析討論導軌與伺服傳動系統的設計.